3d光学轮廓仪

以白光干涉扫描技术为基础的3d光学轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、汽车零部件、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、高校科研院所等领域中。

中图仪器SuperViewW1光学3D表面轮廓仪是用于样品表面微观形貌检测的精密仪器。可以达到纳米级的检测精度，并快速获得被测工件表面三维形貌和数据。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的微观几何轮廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

应用

【光学透镜检测】

球面透镜在可见光领域是一种基础光学器件，其光的传播效果受曲率半径和表面粗糙度的影响，中图仪器SuperView W1 光学3d轮廓仪可以对这两项参数同时进行检测。

某型号双胶合透镜的曲率半径和表面粗糙度检测

【玻璃表面台阶检测】

透明玻璃表面镀的一层金属膜，因为其非透明特性，薄膜测厚仪没有办法测膜层厚度。况且膜层厚度的精度是在纳米级别的，不管是非接触式光学仪器还是接触式台阶仪，都存在测量误差，而中图仪器研发生产的SuperView W1 光学3D表面轮廓仪的测量精度达到亚纳米级，可以对膜层厚度进行一键测量。

仪器软件对两台阶高的检测