中图SJ6000激光干涉仪

一.性能特点：

1.测量精度高、速度快，稳定性好

①使用高性能氦氖激光器，结合伺服稳频控制系统，达到高精度稳频(0.05ppm)

②以光波长(633nm)为测量单位，分辨率可达nm级

③使用高速光电信号采样和处理技术，测量速度可达到4m/s。

④配合有环境补偿单元，在环境变化的情况下，也可以得到较高的测量精度

⑤分离式干涉镜设计，避免了测量镜组由于主机发热而引起的镜组形变

2. 应用范围广

①可以实现线性、角度、直线度、垂直度、平面度等几何量的检测

②结合我们的软件系统，可以用于速度，加速度，振动分析以及稳定度等分析

③可实时监控精密加工机床等机器的动态数据，进行动态特性分析

3 软件界面友好

① 使用当前热门的软件界面开发工具，软件界面人性化，操作简单。

②将静态测量和动态测量两种功能合并到一个软件中，更方便用户切换测量类型。

③向导式操作，流程清晰，更符合国内用户的使用习惯。

4 性价比好

性能达到了国外仪器的水准，价格是国内仪器的良心价。

二.产品功能：

1.自动螺距误差补偿。激光干涉仪不仅能自动测量机器的位置精度，而且还能通过rs232接口使计算机和数控系统实现通信，对误差进行自动补偿。它比通常的手工补偿方法节省了大量的时间，同时可*大限度地选用被测轴上的补偿点数，使机床达到*佳精度。
2.回转坐标精度标定。回转坐标分度精度标定可对数控转台在任意角度位置，以任意测量间隔进行自动测量及补偿。
3.机床动态特性测试与评估。利用中图动态特征测量与评估软件，可用干涉仪进行杌床振动测试与分析、滚珠丝杠的动态特性分析、伺服驱动系统的响应特性分析、导轨的动态特性（低速爬行）分析等，从而帮助用户对机器源进行分析。
4.触发脉冲输入、输出功能。利用触发脉冲输入，可实现外部控制激光干涉仪记录数据，从而可实现类似于激光丝杠动态精度检查仪的功能或机床传动链精度检查功能。利用触发脉冲输出，可用激光干涉仪定时或定距发出脉冲，从而实现类似于激光光刻机的功能。
5.其他用户接口装置。可用中图公司提供的特殊接口软件，对于现有某些品牌的电子水平仪或数字指示仪器的用户，配合中图激光干涉仪校准软件，实现直线度、平面度及垂直度等几何精度的检测，从而节省用户投资费用。
 

三.技术参数：

      系统性能

² 测量方式：单频

² 稳频精度：0.05ppm

² 动态采集频率：50 khz

² 预热时间：5-10分钟

² 工作温度范围：0~40℃

² 环境温度范围：0~40℃

² 存储温度范围：-20℃~70℃

      环境补偿示值误差

² 空气温度传感器：±0.2℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 材料温度传感器：±0.1℃ (0-40℃)，分辨率0.01℃

² 空气湿度传感器：±6% (0-95%)

² 大气压力传感器：±1mbar (650-1150mbar)

      线性测量

² 测量距离：0-40m

² 测量精度：0.5ppm (0-40℃)

² 测量分辨率：1nm

² 测量*大速度：4m/sec

      角度测量

² 轴向量程：0-15m

² 测量范围：±10°

² 测量精度：±0.6%r±0.5±0.1m μm/m（m为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.1μm/m

      直线度测量

² 轴向量程：0.1-4.0 m

² 测量范围：±2.5 mm

² 测量精度：±0.5% r±0.5±0.15m2 μm（m为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.01μm

      垂直度测量

² 测量范围：±3/m mm/m

² 测量精度：±0.5% r±2.5±0.8m μm/m（m为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.01μm/m

      平面度测量

² 轴向量程：0-15 m

² 测量范围：±1.5 mm

² 测量精度：±0.6% r±0.02 m2 μm/m（m为光学镜移动距离，单位：m）

² 测量分辨率：0.1μm

      回转轴分度精度测量

² 角度测量范围：0-360°

² 精密转台角度增量：5°

² 精密转台分度精度：±1秒

² 精密转台重复性：0.2秒